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第三代半导体固态紫外光源材料及器件关键技术‘新京葡萄官方网站’

作者:新京葡萄官方网站 发布时间:2024-02-13 02:20:01 次浏览

第三代半导体材料主要还包括氮化镓(GalliumNitride,GaN)、碳化硅(SiliconCarbide,SiC)、氧化锌(ZincOxide,ZnO)、氮化铝(AluminumNitride,AlN)和金刚石等长禁带半导体材料。

本文摘要:第三代半导体材料主要还包括氮化镓(GalliumNitride,GaN)、碳化硅(SiliconCarbide,SiC)、氧化锌(ZincOxide,ZnO)、氮化铝(AluminumNitride,AlN)和金刚石等长禁带半导体材料。

第三代半导体材料主要还包括氮化镓(GalliumNitride,GaN)、碳化硅(SiliconCarbide,SiC)、氧化锌(ZincOxide,ZnO)、氮化铝(AluminumNitride,AlN)和金刚石等长禁带半导体材料。与硅(Silicon,Si)、GaAs等半导体材料比起,第三代半导体材料禁带宽度大,具备穿透电场低、热导率低、电子饱和状态速率高等良好性质。

其中氮化物材料是第三代半导体材料中最引人瞩目的材料,特别是在是GaN(氮化镓)基光电子器件在白光灯光领域十分顺利。然而蓝光LED(发光二极管)的技术专利受限于欧美日等专门从事该行业较早于的国家。因此正处于发展初期的基于AlGaN(铝镓氮)材料的紫外LED沦为突破专利独占的最佳领域。另外,紫外LED也是目前氮化物技术发展和第三代材料技术发展的主要趋势,享有辽阔的应用于前景。

目前全球紫外光源市场规模大约为4亿2700万美元,不过传统紫外汞灯依然占有市场主导地位。和汞灯比起,近年发展很快的紫外光LED光源,被普遍认为具备8大优势。一是体积小,在便携式、高集成度产品方面有极大潜力。二是坚固耐用,LED比石英玻璃外壳的汞灯耐冲击,容易再次发生损坏。

三是能源效率高,与汞灯比起,紫外光LED能量消耗最多可以较低70%。四是环保,紫外LED含有害物质汞,通过ROHS证书。五是工作电压较低,紫外LED工作电压仅有3-5伏左右,和高压汞灯比起,既提升了安全性,也减少了驱动电路成本。

六是功率更加不易调节。七是风扇系统拒绝较低,更进一步减少系统成本。八是光学系统非常简单,更加符合实际应用于必须,紫外LED不必须另加透镜就能获得灵活的光束角和均匀分布的光束图,从而降低成本,强化系统可靠性。

于是以因为这些优势,紫外LED技术正在沦为固态紫外光源行业极具吸引力的自由选择方案。同时,与传统紫外光源汞蒸汽灯、准分子激光器比起,固态紫外光源具备小巧便携、绿色环保、波长不易回声、电压较低、功耗小、可构建等诸多优点,随着技术的不断进步,终将沦为未来紫外光源的主流。在信息光存储中,数据密度由读取的光源波长要求。浅紫外激光二极管由于很短的波长,比起于基于蓝光激光器的蓝光存储(blue-ray)技术,未来将会可将信息容量提高数十倍。

在生化分析中,大多数生物分子所含的化学键在紫外光波段(270-350nm)有很强的光学共振,小型高效的紫外光源可以为生物观测和光电子学之间获取桥梁,使生物光子学的应用于沦为有可能,例如基于荧光的bioagent辨识等;光学检测也是研究蛋白质结构十分有效地的方法,光学唤起色氨酸和酪氨酸这两种极为重要的氨基酸必须275nm紫外光源。浅紫外LED是理想的新一代光源,市场潜力极大,同时对智能生产和提高人民生活品质也将起着最重要起到。为了减缓国内第三代半导体固态紫外光源的发展,国家科技部实行了重点研发计划专项,积极开展第三代半导体固态紫外光源材料及器件关键技术的研究工作。

该项目由中国科学院半导体研究所联合,进发了国内第三代半导体固态紫外光源领域的优势研究院所、高校及行业龙头和应用于企业,集中于专业技术力量对固态紫外光源展开技术研制成功,以期在5-10年内追上国际先进设备水平,同时尽早构建第三代半导体固态紫外光源的市场化应用于,以市场促发展,造就国内第三代半导体固态紫外光源涉及产业的发展。中科院半导体所是国内最先积极开展氮化物材料研究的单位之一,分担并出色完成了多项国家根本性研究任务。项目负责人“十一五”期间分担国家863前沿探寻类课题“紫外LED用AlGaN材料生长研究”,构建了国内首个波长较短于300nm的浅紫外LED器件毫瓦级光功率输入,研究成果沦为“十一五”863计划新材料领域研究亮点,并取得“十一五”二期国家专项的更进一步反对,分担863课题“浅紫外LED制取和应用于技术研究”,在基于AlN模板的MOCVD外延技术等方面获得了一系列成果,将浅紫外LED性能提高将近一倍。

“十二五”分担国家863课题“浅紫外LED外延生长及应用于技术研究”,成果经专家组检验超过国内领先、国际先进设备水平。目前分担863课题“低铝组分氮化物材料制取技术研究”,国内首次构建室温将近紫外377nm和浅紫外288nm半导体激光器光泵浦激射。本项目与以前的浅紫外LED研究课题一脉相承,并由前期的前沿技术探寻阶段改向共性关键技术突破阶段。

半导体所材料和器件综合指标仍然维持国内最差水平,低Al组分材料质量坐落于国际最差水平;研发出有国内第一支浅紫外毫瓦级LED并始终保持效率领先;国内首次构建了GaN基蓝光激光器,首次构建室温将近紫外377nm和浅紫外288nm的激光器光泵浦激射,维持着紫光激光器的领先优势;涉及成果取得“国家技术发明者二等奖”1项,“国家科技进步二等奖”1项,“北京市科技进步一等奖”1项。为项目的成功实行获取了扎实的技术确保。


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